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Advanced

Wafer Handling Diffusion

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Jonas and Redmann Taiwan Limited
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Key Features

Die Maschinenplattform WHD erfüllt die vielseitigen Anforderungen der Solarzellen-Massenproduktion. Sie gewährleistet die effiziente, vollautomatische Be- und Entladung von Quartzbooten im Prozessschritt Diffusion. WHD Konfiguration Alle Automatisierungsschritte und Komponenten sind auf zukünftige Ansprüche – zum Beispiel geringe Waferdicken – ausgelegt. Ein weiterer Vorteil des WHD Systems ist seine hohe Flexibilität hinsichtlich Produktionsauslastung und Prozessvariation. Basierend auf dem hohen Durchsatz der WHD HTP ist es möglich, einen (single), zwei (TWIN) oder drei (triple) Rohröfen mit ein und derselben Maschine zu automatisieren. In der Konfiguration WHD HTP (triple) erreicht das System einen Durchsatz von 10.000 Wafer/h und ist damit das leistungsstärkste am Markt verfügbare System. Leistungsdaten und Besonderheiten konfigurierbar für eine Vielzahl von Diffusionsrohröfen | Prozesse z.B. POCl3, BBr3, BCl3, Annealing, Oxidation konfigurierbar hinsichtlich Materialzufuhr | Automatisierungs- und Chemie-Carrier konfigurierbar für verschiedene Boottypen und Beladearten hohe Prozessgüte durch schonende und sensorüberwachte Handhabung des Materials Automatisierung von bis zu drei Prozessöfen mit einer WHD HTP (single, TWIN, triple) integrierte „back-to-back“ Funktion virtuelle Materialverfolgung Optionen MES SECS / GEM PV2 Bedienung von einer Seite integrierte Messung des Flächenwiderstands

Last Update : 2019-08-02
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Kate Yang , Jonas and Redmann Taiwan Limited

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